金融界 2024 年 8 月 21 日消息，天眼查知识产权信息显示，上海集成电路研发中心有限公司申请一项名为“半导体设备一致性优化的方法、系统及电子设备“，公开号 CN0.7 ，申请日期为 2023 年 2 月。
专利摘要显示，本申请提供一种半导体设备一致性优化的方法、系统及电子设备，涉及半导体技术领域，用于解决各半导体设备的状态一致性难以检测的技术问题，该一致性优化的方法包括：根据进行同一工艺步骤的不同半导体设备中的晶圆制作时的日志数据，在多个半导体设备中确定最优设备，每个日志数据包括多个传感器的采样数据；获得其他各半导体设备所对应的日志数据的群中心与最优设备所对应的日志数据的群中心之间的偏移距离；根据各偏移距离，判断其他各半导体设备相对最优设备的偏离程度，并确定可优化部件。通过判断其他各半导体设备的偏离程度，进而通过调整偏离程度大的半导体设备，可以保持各半导体设备均处于较优的状态，从而提高晶圆的质量和良率。
